檢索結果:共3筆資料 檢索策略: "楊宏智".ccommittee (精準) and year="103"
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單晶碳化矽基板(Silicon Carbide, SiC)在功率元件市場的潛力極大,但單晶碳化矽基板因高硬度及抗化學性等特質,造成製造過程面臨加工時間冗長等問題。本研究主要研究4H單晶碳化矽基板的研…
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隨著半導體產業發展,三維堆疊積體電路(3DS-IC)是一項突破莫爾定律的關鍵技術,由矽導微孔(Through-Silicon-Via, TSV)晶圓可作為中介層(Interposer)進行異質元件間…
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質子交換膜燃料電池具有常溫下操作、快速啟動、無污染及無噪音等優點,為極具潛力的替代性能源之一。然而,目前存在著生產成本、生命週期與水管理等問題,阻礙其商業化之發展。近年來大部分的學者皆針對平板狀結構…